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UM系列
定位工作台
UM定位平台采用DXM无槽直线电机及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴环做导向,内置高分辨率光栅,实现XY。三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构,可用于诸如半导体/液晶相关制造设备和清洁环境下的图像对准处理。
专利产品
ISO9001认证
高性价比
短交期
型号
型号
峰值推力(扭矩 )
连续推力(扭矩 )
最大可搬质量
有效行程(角度)
分辨率
最大速度
重复定位精度
UM120-01X01YR-3
80N
15N
5.9kg
20mm
0.1μm
400mm/s
±5μm
了解更多
UM200-01X01YR-3
400N
80N
30kg
25mm
0.1μm
400mm/s
±5μm
了解更多
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