UM200-01X01YR-3
UM定位平台采用DXM无槽直线电机及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴环做导向，内置高分辨率光栅，实现XY。三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构，可用于诸如半导体/液晶相关制造设备和清洁环境下的图像对准处理。
专利产品
ISO9001认证
高性价比
短交期
尺寸图
规格参数
| 性能名称 | X | Y | R |
|---|---|---|---|
| 峰值推力（扭矩） | 400n | 400N | 4.0N.m |
| 持续推力（扭矩） | 70N | 70N | 1.2N.m |
| 最大可搬质量 | 30kg | 30kg | 12.3kg |
| 有效行程（角度） | 25mm | 25mm | 280° |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.25角秒 |
| 最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 270°/s |
| 重复定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.5角秒 |
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